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第0531章 国产光刻机诞生

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“老师,您到底准备了什么惊喜给我!”贾老板兴致匆匆的来到联合实验室,找到了实验室里面的倪老。

“我还以为你今天不会过来了呢!”倪光南翻了个白眼然后道“你跟我过来吧。”

“好!”贾老板点点头,然后跟着倪总工一路深入研究所,最后进入了研究所内部一个保卫非常严密的房间里面,见到了一台足足有五六米长的大型机器。

“这是什么?”贾老板好奇的问道。

“这是200nm光刻机的原型机!”倪总工一脸骄傲的说法。

“什么!您说这是什么?”这回换做贾老板震惊了。

“我说这是完全由我们国内生产,具有自主知识产权的200nm光刻机!”倪光南的头都快要抬到天上去了“在那天参观完了ASML的生产基地之后,我不是告诉你,我对200nm光刻机已经彻底了解了吗?”

“这就是我的成果!”倪光南骄傲的指着眼前的这台机器说道“这就是由我们华夏自主制造的第一台200nm级别的光刻机了”

“这台光刻机75%的原件,都是纯国产的,核心部件的国产率更是高达70%。而据我所知,尼康的国产率在50%左右,而ASML的国产率更是只有10%而已,所以我们的这台设备,是全世界国产率最高的设备。”

“我的老师呀,您也未免太厉害了吧,咱们才回来几天的时间呀,您就把设备给造好了?”贾老板震惊万分地说道。

“其实这台机器在我离开前就已经造好了,只不过有还有一些问题。我们走的那天,我不是跟你说我还要做实验吗?就是为了测试这台机器的问题。”

“不过这个问题在我参观了ASML的工厂之后就被解决了,原来他们的工厂安装机器的方式是使用油压安装的,这样安装精度能够精确到0.001毫米的程度,我们原本的安装方式只能够精确到0.1毫米!”

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