整整三天时间,燧石研究院全体放假,名义是准备迎接精密仪器和机械专项科研计划的成果验收,提前放个假,回来有得忙。
实际上,在赵鸿涛安排人看护住顾松所在的这一大间实验室之后,里面就只有顾松一个人。
赵鸿涛也不知道顾松在里面搞什么,他也不问,只按时给顾松把吃的送过去。
这枚芯片,就纯粹是耗费时间。
啥都得自己动手去操作仪器,光是掩模板的制作,就花了一整天的时间。
顾松休息了一晚养精蓄锐,第二天早上起来正式开工。
曝光的每一步的参数,都是推算好的。光把这些参数设置进去,就花了顾松小半天时间。
在正式开工之前,又花了近两个小时,才匀胶烘好一片合乎要求的8寸晶圆。
将掩模板和晶圆放好,对准又花了将近半个小时,确认一切参数都没问题,顾松才开始按下开始键,等待曝光完成。
曝光的时间倒是很快,就不知道效果怎么样。
显影完之后,顾松先是检查。
在开启“专注运算”模式之后,都花了有将近1个小时的时间,才初步确认,觉得应该没什么问题。
硬烘、刻蚀,最后去除光刻胶,才得到这块巴掌大的芯片。
虽然有巴掌大,但它的制程却并不低。
没办法,现在没有先进的工艺设备能制作基于纳米碳材料的下一代立体网络芯片。在现在这种硅基半导体工艺思路下,只能用简化版做出来,实现基本的功能。
他赶紧把这块芯片拿过去进行测试,看看有没有问题。
现在这是裸片测试,测试用的Probe Card又得做些重新的设置,然后才能先看这枚芯片有没有问题。
测试结果一出来,顾松就觉得心塞。
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