林本坚看到了林强生站在实验室外面，邀请他走进了实验室，高兴的说道：“林先生，你提出用纯水做透镜的想法非常棒，纯水的折射率为1.33，这样浸润式显影技术有望让我们在现有设备的基础上，可以达到0.5微米的制程工艺，完全不是问题！”

林强生看了看实验设备，一台经过改造了的光刻机，他对林本坚说道：“目前这个想法也只有少数人知道，属于公司的绝密技术，绝对不能透露出去！”

林本坚严肃的说道：“林先生你放心，我一定保守这个秘密，这是我现在最重要的工作！”

林强生点了点头，侵液式光刻机就是林本坚提出的想法，他当然知道这个设备重要性。在透镜和淹没版间加超纯水，利用水提高分辨率。短短一句话就能够给懂行的人无数启发，价值无限，所以这里的一切是连一个字也不能向外界透露的。

现在这个实验室也只有林本坚和国内来的几名研究人员能够进入，而且他们都签署了保密协议，这台设备的零配件都是分开制造的，最后由林本坚等人亲自组装，设备和这个实验室有着多重保护，现在它是东星半导体最重要的财产。

林强生看着光刻机，就像一个大柜子，这还只是个粗糙的试验型，离着成品还有好长的距离，他向林本坚问道：“你觉得我们多久能拿出成熟的浸液式光刻机？”

林本坚说道：“这需要改进光刻机的各个系统，软硬件还十分不成熟，而且在光刻机侵没液体控制系统上还需要尽快的开展研究，这涉及到自动控制领域。”

他向林强生说道：“而且，需要研究的领域太多了，不光是控制系统，还有精密制造、光学等等，肯定会有越来越多的配套研究项目，来配合我们的研究！

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